产品中心
04_phosphine_1_product 副本.jpg
04_phosphine_2_facility 副本.jpg
04_phosphine_3_application 副本.jpg
04_phosphine_4_concept 副本.jpg
04_phosphine_1_product 副本.jpg

04_phosphine_2_facility 副本.jpg

04_phosphine_3_application 副本.jpg

04_phosphine_4_concept 副本.jpg

高纯磷化氢 PH₃(6.5N级)

    高纯磷化氢是半导体"掺杂"的灵魂气体,6.5N级纯度达99.99995%,年产能50吨。通过多级精馏+吸附耦合提纯实现PPB级杂质脱除,是先进制程国产替代的核心突破口。


高纯磷化氢(PH₃,6.5N级)是磷系核心电子特气,纯度高达99.99995%,年产能50吨。在晶圆制造中,磷化氢承担离子注入与掺杂关键角色,直接决定芯片的导电性能与器件良率。该产品长期依赖进口,是国内半导体材料国产替代的重点方向之一。南充南炼通过自主研发的多级精馏与吸附耦合提纯技术,实现PPB级金属杂质与水分杂质的精准脱除,产品指标达到先进制程使用要求。


公司建立由总经理直管的半导体级全流程品控体系,对高纯磷化氢生产实施SPC过程管控、SQC统计分析与全节点质量追溯,从来料检验、制程巡检、成品全检到出货核验层层把关,确保每一瓶产品均符合严苛的电子级标准。同时,公司针对磷化氢等高毒性电子特气提供安全负压源储运方案,从根源降低泄漏风险。


高纯磷化氢的典型应用涵盖:晶圆芯片CVD沉积、刻蚀、离子注入掺杂,LED显示MOCVD外延,光伏电池扩散/PECVD工艺,以及显示面板CVD成膜。凭借稳定的产品品质与专业的技术服务,公司已成为国内半导体、LED、光伏等行业客户的重要供应商。



首页 产品 电话 联系