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高纯乙硼烷 B₂H₆(5N级)

    高纯乙硼烷是P型掺杂与外延生长的关键气体,5N级纯度99.999%,年产能10吨。通过合成提纯与精密混配工艺,实现纯度与浓度的稳定可控,适配晶圆、LED及光伏严苛工艺。


高纯乙硼烷(B₂H₆,5N级)是硼系关键掺杂与外延工艺用电子特气,纯度达99.999%,年产能10吨。在晶圆制造中,乙硼烷主要用于P型掺杂,直接影响芯片内部电学性能的精确调控;在LED与光伏外延生长中,它也是构建器件结构的重要源材料。该产品对纯度、浓度稳定性与批次一致性要求极高,任何微小波动都可能影响最终器件性能。


南充南炼采用合成提纯与精密混配相结合的生产工艺,配合气相色谱仪、ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪等顶级检测设备,实现从原料到成品的全节点质量追溯。公司建立了8D问题解决机制与全工序SPC过程管控,确保乙硼烷产品批次一致性高、杂质含量低、供应稳定,适配晶圆、LED、光伏及泛半导体领域的严苛工艺需求。


典型应用场景包括:晶圆P型掺杂、LED MOCVD外延生长、刻蚀辅助工艺,以及作为沉积用气参与乙硅烷体系反应。公司提供多种规格包装与现场技术支持,帮助客户优化工艺参数、提升产品良率,持续助力电子特气国产替代进程。



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